濕法刻蝕處理系統刻蝕率受到影響的因素
發布時間：2022-05-11 點擊次數：8次
濕法刻蝕處理系統中的濕法刻蝕指將刻蝕材料浸泡在具有腐蝕性的溶液中，利用溶液的腐蝕性對材料進行加工處理的技術。即是中學化學知識中化學溶液腐蝕的概念，是一種純化學刻蝕方法，具有優良的選擇性。在刻蝕完區域后就會停止刻蝕，從而不會損壞其它不需要加工區域的材料。優勢在于其所采用的馬達為高性能無刷電機，12000轉/分鐘的旋轉速度和高達30000轉/秒的旋轉加速度，使其能夠快速生產從幾納米到幾微米厚的均勻薄膜。
濕法刻蝕處理系統刻蝕率受到影響的因素：
1、酸液槽內濃度是不斷變化的，主循環回路在供應工藝腔進行化學處理的同時，離開工藝腔的酸液進入排液管路，回到供酸槽中，這樣隨著加工硅片數量的增加，槽內酸液的濃度會隨著化學液的消耗而相應的下降；
2、工藝腔內刻蝕處理的時間，決定了刻蝕圖形的形狀，以及是否會過刻蝕；
3、被刻蝕材料本身的密度及孔隙率，影響化學液與被刻蝕材料的接觸面積，也相應地影響材料的去除速率；
4、化學液的溫度，通過在主循環回路上布置在線式的加熱器和熱交換器，是最有效的控制化學液溫度的方式；
5、化學液散布的均勻性，在硅片不同區域，化學液停留的時間，直接決定了刻蝕的均勻性，所以要保證整個硅片的刻蝕均勻性，就必須要盡量使化學液散布的均勻，可使硅片承片臺高速旋轉，在配合以能使化學液均勻噴灑的化學液噴嘴結構。
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