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    德國SPS POLOS勻膠機

    更新時間:2022-05-09

    訪問量:267

    廠商性質:代理商

    生產地址:德國

    簡要描述:
    德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i采用無刷式馬達,具有轉速穩定,啟動快速,涂膠一致性和均勻性好等特點,廣泛應用于鈣鈦礦太陽能電池、半導體芯片制造、MEMS等領域。
    品牌其他品牌價格區間5萬-10萬
    產地類別進口應用領域環保,化工,能源,電子,印刷包裝
    適用基片最大尺寸160毫米直徑圓片,4英寸方片;旋轉轉速范圍1~12000RPM**
    旋轉最大加速度30000RPM/S轉速精度±0.1rpm

    一、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i產品特點和技術參數:

    1、結構:

    (1)旋涂腔體直徑為202毫米,適用于小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片;

    (2)NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結構為整個系統提供更好的剛性和韌性;

    (3)旋涂腔室材質為NPP(天然聚丙烯),特殊應用可選用高耐化學性的PTFE(TFM™);

    (4)高品質無縫制造表面,全工程塑料;

    (5)機身尺寸為:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm,適用于通風廚和手套箱使用;

    2、數字電機控制:

    (1)具有數字增量速度信號的數字實時閉環控制伺服電機反饋;

    (2)允許具有廣泛旋轉速度參數的用戶以更安靜的方式進行工作/實驗,系統高速運行時更穩定,振動更少;

    (3)提供高性能無刷電機,有著高精度的轉速(±0.1 rpm)和寬范圍的轉速(1至12,000 rpm),這是傳統PID電機控制器無法實現的;

    3、程序配方數目存儲不設限,可用于多個步驟的配方,每個配方均適用于:

    (1)旋涂時間:0.1至99999秒/步;

    (2)旋涂轉速:0至12,000 rpm;

    (3)旋轉方向:順時針,逆時針,順、逆時針交換攪動;

    (4)旋涂加速度:1至30,000 rpm / sec(每步可選);

    (5)真空:開/關;

    (6)3個可編程的干觸點:例如用于分配單元,氮氣擴散器等的自動控制;

    4、設備控制器:

    (1)可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護,IP 52,耐化學腐蝕;

    (2)彩色觸摸屏顯示,可輕松編程速度,加速度和時間;

    5、安全聯鎖:

    (1)Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標時才能打開;

    (2)電磁蓋聯鎖在打開時停止旋轉,而真空聯鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉,防止傷害使用者并避免基材破裂;

    (3)具有國際CE標志和過載保護的電氣安全;

    6、透明蓋:

    (1)透明蓋清晰可見內部,帶有注射器支架和N2擴散器,可手動分配注膠以及在處理過程中進行N2吹掃;

    (2)注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學物質;

    (3)控制室環境對于恒定的過程結果至關重要;

    (4)堅固的自彈式蓋鉸鏈,可自動將蓋保持在最佳狀態,以便輕松搬運和卸下基板,同時確保蓋子上的殘留化學物質都流入系統排水口;

    7、連接:

    (1)三個可編程繼電器輸出,可用于操作自動分配系統,外部閥或其他附件。

    (2)多種chuck可供選擇,適用用于不同尺寸的基板。

    8、USB端口:可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本;

    9、存儲:結構化和受密碼保護的方案存儲,可輕松安全地進行管理;

    10、配套真空泵系統:無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;


    二、德國SPS POLOS勻膠機SPIN150i應用領域:

    1、適應于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備;

    2、半導體芯片制造;

    3、MEMS制版的表面涂覆;


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