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    URE-2000/35紫外掩膜光刻機

    更新時間:2022-05-09

    訪問量:57

    廠商性質:代理商

    生產地址:中國

    簡要描述:
    URE-2000/35紫外掩膜光刻機采用自動找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動分離對準間隙和消除 曝光間隙,采用 350W 進口(德國)直流汞燈,可調節光的能量密度。設備外形美觀精制,性能非??煽?,自動化程 度很高,操作十分方便。非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好,演示方便)。
    品牌其他品牌產地類別國產
    應用領域化工,能源,電子,印刷包裝,航天

    一、URE-2000/35紫外掩膜光刻機產品特征:

    URE-2000/35采用自動找平,具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝以及接近式曝光四種功能,自動分離對準間隙和消除 曝光間隙,采用 350W 進口(德國)直流汞燈,可調節光的能量密度。設備外形美觀精制,性能非??煽?,自動化程 度很高,操作十分方便。非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動化程度高)和高校教學科研 (可靠性好,演示方便)。

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    二、URE-2000/35紫外掩膜光刻機技術參數:

    (1)曝光面積:4英寸

    (2)曝光波長:365nm

    (3)分辨力:0.8μm

    (4)對準精度:±0. 8μm

    (5)掩模樣片整體運動范圍:X:15mm; Y:15mm

    (6)掩模尺寸:2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸;

    (7)樣片尺寸:直徑φ10mm-- φ100mm(各種不規則片);

    (8)樣片厚度:0.1mm--5mm(可擴展為15mm);

    (9)曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量;

    (10)具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;

    (11)照明不均勻性: 3%(φ100mm 范圍)

    (12)雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過CCD+顯示器對準,光學合像,光學最大倍數400倍,光學+電子放大800倍

    物鏡三對:4倍、10倍、20倍

    目鏡三對:10倍、16倍、20倍

    (13)調平接觸壓力通過傳感器保證重復;

    (14)數字設定對準間隙和曝光間隙;

    (15)具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口;

    (16)掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm;   Y: ±5mm;  θ:±6o

    (17)最大膠厚:400μm(SU8膠,用戶提供檢測條件)

    (18)光源平行性:3.5 o

    (19)曝光能量密度:>20mW/cm2,照明面溫度<35 o

    (20) 單層曝光一鍵完成;

    (21)采用球氣浮自動找平;

    (22)汞燈功率:350W(直流,進口汞燈);

    (23)外形尺寸:1200mm(長)×900mm(寬)×1750mm(高);


    三、配置

    (1)曝光頭

    ①冷光橢球鏡

    ②350W進口直流高壓汞燈(進口)

    ③XYZ汞燈調節臺

    ④冷卻風扇

    ⑥光學系統:固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡1、準直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(79個透鏡)、i線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡1、反射鏡2

    (2)對準工件臺

    ①掩模樣片整體運動臺

    ②掩模樣片相對運動臺

    ③轉動臺

    ④樣片調平機構,自動完成

    ⑤基片抽拉式上下機構

    ⑥樣片調焦機構,電機自動調

    ⑦承片臺4個:f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸(可按用戶要求增減)

    ⑧掩模夾4個:3英寸、4英寸、5英寸(可按用戶要求增減)

    (3)對準顯微鏡

    ①光源(配備品2只)、 電源

    ②雙目雙視場對準顯微鏡主體

    ③目鏡3對(10倍、16倍、20倍,共6個)

    ④物鏡3對(4倍、10倍、20倍,共6個)

    ⑤CCD對準系統,21寸液晶顯示器

    (4)電控系統

    ①汞燈觸發電源(350W直流汞燈)

    ②單片機控制系統

    ③控制柜桌

    (5)氣動系統

    ①氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關等

    ②電磁閥驅動

    ③氣動儀表

    (6)其他附件

    ①真空泵一臺

    ② 空壓機一臺

    ③管道

    (7)技術資料

    ①使用維修說明書

    ②顯微鏡使用說明書






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